等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個部分做一個陳述：

　　一、控制單元：

　　目前國內使用的等離子清洗機，包括國外進口的，控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。

　　而控制單元又分為兩個大的部分：1)電源部分：主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子，主要的功能作用，前面已經提到了，這里就不一一介紹了。2)系統控制單元：分三種，按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。

　　二、真空腔體：

　　真空腔體主要是分為兩種材質的：1)不銹鋼真空腔體，2)石英腔體。

　　三、真空泵：

　　真空泵分為兩種：1)干泵 、2)油泵

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