在使用等離子清洗機方面，經過等離子清洗產品一段時間，真空腔體壁上和電極板上會殘留部分污垢，現將一些方法清潔維護保養，僅供參考。

　　在開始進行任何保養或維修前，應采取所有的相關安全防范措施。

　　1、 將設備電源開關關閉，斷開總電源保護器。

　　2、 關閉所有氣體。

　　3、 準備所需工具箱。

　　4、真空腔體及真空發生系統的保養

　　(1)真空腔是處理工件的工作區，當使用到一定時間后腔體內會殘留部分污垢，附著在電極板及腔體壁上。

　　處理方法：當連續使用一定時間后，應用無塵布(紙)沾酒精清潔所有電極板及腔體壁，保持腔體清潔。

　　(2)觀察窗是工作人員在工作時對腔體內放電情況進行觀察所用，在使用腐蝕氣體后會造成觀察窗玻璃的表面微蝕，使其變得模糊不清。

　　處理方法：用無塵布(紙)沾酒精或丙酮對玻璃進行清潔即可。

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