等離子清洗機在半導體、電子材料干式清洗中的應用越來越廣泛,如硅膠片的光刻膠剝離、除去有機膜、界面活性化、微細研磨、除去碳化膜等領域,等離子產品都發揮了積極的作用。
等離子清洗機在半導體、電子材料干式清洗中的應用越來越廣泛,如硅膠片的光刻膠剝離、除去有機膜、界面活性化、微細研磨、除去碳化膜等領域,等離子產品都發揮了積極的作用。
從研究開發到工藝生產使用,從表面微細加工到表面處理改質,等離子設備有著很廣的社會應用需求。在多個領域也都有普遍應用。
1、半導體相關:
晶圓光阻附著力的提高;晶圓光阻的去除(灰化);晶圓光阻殘留物去除;MEMS疊加強度的提高LED。
2、光學相關:
鏡片粘連、除霧;涂裝前處理;眼鏡鏡片涂裝前處理;隱形眼鏡親水性提高。
3、生物、醫用相關:
微芯片強度提高;微芯片流道親水性提高;導管、導管針粘連強度提高。
4、低溫灰化:
石棉分析前處理;設備分析用前處理。
5、FPD相關:
液晶屏粘合強度提高;保護、偏光板附著力提高等。
6、IC/LED組裝相關:
基板電極部引線鍵合強度提高;芯片疊合(芯片粘連)粘連性提高;基板封裝(成型粘)連性提供;樹脂底部通孔殘留物的去除(膠渣)。
7、新材料:
高分子材料粘合強度提高;高分子材料涂裝前處理;粉體樣品粘合、形成前處理。
8、機電一體化:
液晶屏粘合強度提高,保護、偏光板附著力提高等。
關于等離子清洗機的應用就介紹到這里了,想了解更多相關資訊請繼續關注本網站。