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高頻等離子表面處理裝置■ 操作性·功能● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型,DP和RIE標配的雙模等離子清洗機,可對應更多復雜工藝. ● 標準配備電離式真空計,實時顯示真空度,使得控制更為精確。● 液晶觸摸屏控制,操作使用簡單,調取數據簡單。■ 安全性·保護● 標準配備真空泄漏檢測功能,可以根據需要檢查設備的真空以及泄漏情況。● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發生器,以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。● 發生器保護回路:超負荷或者RF發生器發生問題時,可自動調低頻率來保護發生器。● 門鎖開關:門在未完全關閉時無法啟動電源。● 側板鎖:本體側板突然打開或者未關好時,會停止電源。● 緊急停止按鍵(EMO)標準配備。● 當裝置發生異常時,裝置本體發出警告信號的同時,進行以下動作1)關閉主閥。(2)關閉供氣閥。(3)停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。(5)聲光報警■ 產品優勢●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。●DP&RIE雙模處理,可對應更復雜的工藝。●搭載高精度適配器,高性能RF電源。●可變電極構造提高等離子處理效果。●安全保護措施綿密,有效防止對機器以及樣品的損害。●可根據需求的具體情況提供產品定制服務。■ 產品圖紙■ 設備安裝圖
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