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專業售前售后技術支持
快速、高效、創新，基于多年行業經驗








   








	
Kashiyama SDL 系列干式真空泵，大容量高速排氣


    發布時間: 2018-11-22 15:42    













	

		
 

		
		

	

	  
Kashiyama SDL 系列干式真空泵，大容量高速排氣

	

	

		

		

        
			
           
			  

              

					
    
						
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KASHIYAMA真空泵SDL Series系列

原裝進口

可用于大尺寸晶圓和FPD。
通過組合提供大容量。
大于150kl/min也可按需提供。
大容量atm左右，可實現高壓泵送。
適用于大型L/L箱。


KASHIYAMA真空泵SDL Series系列規格
型號
SDL12E50
SDL20E50
SDL36E60
SDL3600
最大排氣速度
 [L/min] *1
25,000
50,000
60,000
60,000
極限真空度 [Pa] *1
0.8
0.5
0.8
電源電壓 (50/60Hz)
3Phase AC200～220V,?380～480V













曲線圖

 

行業應用：
半導體制造、液晶顯示制造、真空干燥、真空填充、鋰電池干燥、分子泵前級泵、質譜儀、加速器等。

	

    
    

	   
	
		

			

	
	



	

		



    

        

            

        
        
 
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